Interféromètre laser ZYGO Procédures de fonctionnement

Interféromètre marche et arrêt et étapes de mesure de base

Puissance sur la séquence

1. Allumez l'ordinateur et le moniteur

Entrée: Nom d'utilisateur: zygo

Mot de passe: Aucun

Se connecter au système d'exploitation

2. Allumez la puissance de l'hôte de l'interféromètre et réchauffez l'interféromètre pendant 15 à 20 minutes pour le faire fonctionner de manière stable.

3. Double-cliquez sur l'icône MetroPro sur le bureau de l'ordinateur pour accéder au logiciel de mesure MetroPro.

Allumez l'interrupteur d'alimentation et le voyant lumineux sera allumé.

Étapes de mesure de base

1. Cliquez sur le bouton gauche de la souris sur l'icône de l'application de mesure correspondante pour ouvrir l'application de test.

Par exemple: ouvrez GPI.app

2. Construisez le chemin optique de test (y compris le miroir standard et l'échantillon), ajustez les franges d'interférence et reportez-vous à la méthode de mesure spécifique à l'arrière.

Configurez le chemin optique de test (y compris le miroir et l'échantillon standard) et ajustez les franges d'interférence. Configurez les paramètres de mesure nécessaires dans le logiciel MetroPro, reportez-vous au manuel du logiciel MetroPro.

3. Cliquez sur le bouton Mesurer dans le logiciel ou appuyez sur la touche F1 du clavier pour terminer la mesure et afficher les résultats.

4. Sauvegardez le rapport de test. Cliquez sur le symbole «zygo» avec le bouton gauche de la souris pour imprimer ou enregistrer l'image de la fenêtre.

5. Cliquez sur le bouton Enregistrer les données dans le logiciel pour enregistrer les données de test.

Procédure d'arrêt

1. Fermez le logiciel MetroPro

Cliquez sur le bouton X dans le coin supérieur droit de MetroPro, une boîte de dialogue apparaîtra, cliquez sur OUI pour fermer le logiciel MetroPro.

2. Arrêtez l'unité principale de l'interféromètre

Éteignez l'interrupteur d'alimentation de l'unité principale et le voyant s'éteint.

3. Éteignez l'ordinateur et le moniteur.

Installez l'élément de transmission

Avertissement!

Ne touchez pas l'élément transmissif avec vos mains pendant les étapes suivantes. Les empreintes digitales peuvent endommager de façon permanente l'optique

Revêtement et la surface de l'optique.

1. Retirez l'élément transmissif de son étui de protection en saisissant le bord métallique de l'élément.

2. Alignez les deux languettes métalliques sur le bord de l'élément transmissif avec les deux fentes correspondantes sur le support de réglage de l'unité principale.

AVERTISSEMENT!

Lorsque le système est installé dans une configuration verticale, ne lâchez pas l'élément transmissif tant qu'il n'a pas été verrouillé en place en suivant les étapes ci-dessous.

3. Enclaquez doucement l'élément transmissif dans le support de réglage du mainframe, en maintenant les bords métalliques de l'élément de groupe en place avec votre main. Tournez le bouton de verrouillage noir

Tournez le bouton de verrouillage noir dans le sens des aiguilles d'une montre, ce qui fixera l'unité au support de réglage.

REMARQUE: Lorsqu'il est temps de retirer l'unité du support de réglage, maintenez l'unité à la main du bord métallique de l'unité tout en tournant le bouton de verrouillage dans le sens antihoraire.

Lorsqu'il est temps de retirer le module du support de réglage, tenez le module à la main du cadre métallique du module et desserrez les vis de fixation dans le sens antihoraire.

Calibrer l'élément transmissif

Avant de pouvoir effectuer des mesures avec l'interféromètre, vous devez aligner l'élément transmissif avec l'interféromètre, puis aligner l'échantillon de mesure avec l'élément transmissif.

Alignez ensuite l'échantillon de mesure avec l'élément transmissif. Comment aligner l'élément transmissif est décrit ci-dessous. L'étalonnage de l'échantillon de mesure est décrit en détail dans «Mesure de la qualité de la surface».

Mesurer la qualité de surface» et «Mesurer la qualité du front d'onde transmis».

1. Confirmez que l'interrupteur de la barre lumineuse est en position ON. (Assurez-vous que l'interrupteur de la barre lumineuse est en position ON.)

2. Appuyez sur le bouton ALIGN/VIEW de la télécommande. Le réticule de cible calibré et un ou plusieurs points lumineux seront affichés sur le moniteur.

Sur le moniteur. Le point le plus brillant représente la réflexion de la lumière depuis la surface la plus externe de l'élément transmissif.

Mesurer la qualité de la surface

L'échantillon à mesurer est calibré avec l'élément transmissif. Une fois l'échantillon calibré, la mesure consiste simplement à appuyer sur une touche Mesure dans le logiciel MetroPro. Que l'interféromètre soit placé verticalement ou horizontalement, il est généralement admis que la cavité de mesure (ou la distance échantillon-miroir standard) doit être rendue aussi grande que possible.

Distance de l'échantillon au miroir standard) aussi courte que possible. Cela minimisera la distorsion du front d'onde mesuré par le flux d'air.

Montage du miroir de référence Transmission Flat (TF): Placez les deux broches métalliques sur la lentille dans les glissières sur le cadre de réglage de l'interféromètre.

1. Faites glisser les deux métal pIn sur la lentille dans les fentes sur le support de réglage de l'interféromètre, maintenez le cadre métallique de la lentille et faites tourner la lentille dans le sens des aiguilles d'une montre, puis serrez le bouton de verrouillage sur le côté.

Serrez ensuite le bouton de verrouillage sur le côté.

2. Alignez l'objectif standard: appuyez sur le bouton ALIGN/VIEW de la télécommande pour passer l'écran d'affichage à l'état ALIGN, et l'image du filament croisé apparaît dans le plan. Ajustez les deux boutons sur le support de réglage de l'unité principale de l'interféromètre jusqu'à ce que le point lumineux le plus brillant de l'écran se trouve au centre du filament croisé. 3.

3. Placez l'échantillon à mesurer sur le cadre de réglage de la mesure: ajustez le bouton d'inclinaison du cadre de réglage jusqu'à ce que le point lumineux de la partie mesurée sur l'écran soit également au centre de la ligne de cheveux croisée, coïncidant avec le point lumineux réfléchi de la lentille.

4. Appuyez à nouveau sur le bouton ALIGN/VIEW de la télécommande pour basculer l'écran d'affichage sur «Afficher», et les franges d'interférence devraient apparaître sur l'écran. Appuyez sur le bouton ZOOM pour effectuer un zoom avant et arrière afin que l'image de la surface que vous souhaitez mesurer remplisse l'écran autant que possible. 5.

5. Placez un morceau de papier ou un autre marqueur aussi près que possible de la pièce à mesurer, cela fournira un bord distinct pour la mise au point. Appuyez sur le bouton FOCUS de la télécommande pour mettre au point, ce qui rend l'image bord à bord et concentrez-vous pour la rendre bord à bord.

6. Réglez le bouton de réglage de l'inclinaison du support de réglage de l'échantillon pour mettre à zéro les franges (de sorte que les franges d'interférence soient minimisées).

7. Appuyez sur la touche MESURE du MetroPro ou sur la touche F1 du clavier pour effectuer la mesure.

Maintenance de l'unité principale de l'interféromètre

Précautions de sécurité pour l'utilisation des instruments

1. Ne touchez pas l'unité principale ou la plate-forme anti-vibration pendant la mesure.

2. Afin de minimiser le risque de choc électrique, l'instrument doit être bien mis à la terre à travers la sortie d'alimentation électrique.

3, dans le manuel de l'interféromètre pour lire les instructions de sécurité laser.

4. ne déplacez pas l'unité principale. S'il est nécessaire de se déplacer, veuillez utiliser les deux poignées spéciales conçues sur le dessus de l'instrument pour

S'il est nécessaire de se déplacer, veuillez utiliser les deux poignées spéciales conçues sur le dessus de l'instrument pour le déplacer avec précaution, et ne touchez pas la céramique piézoélectrique directement avec vos mains pour la déplacer par la force.

La céramique piézoélectrique est une structure de haute précision, facile à être endommagée par la force, afin d'éviter la force externe sur elle à tout moment. Comme le montre la figure:

Maintenance de l'hôte

L'unité principale est pratiquement sans entretien, cependant, il est très important de faire fonctionner l'instrument dans un environnement relativement propre.

Cependant, il est très important de faire fonctionner l'instrument dans un environnement relativement propre. Si vous devez nettoyer le logement de l'unité principale, suivez les étapes ci-dessous.

1. À l'aide d'un nettoyant pour meubles à pH modéré, essuyez les empreintes digitales et la poussière des côtés et du panneau avant de l'unité principale avec un chiffon doux humidifié avec une petite quantité de nettoyant.

Panneau, comme les empreintes digitales et la poussière.

2. Utilisez un chiffon sec pour nettoyer la poussière des composants. N'utilisez pas de nettoyants ou de sprays près de l'optique.

La lentille est une optique revêtue et les sprays de nettoyage peuvent endommager la surface. Pour la section sur le nettoyage du système de lentille, voir

Section «Nettoyage de l'optique» dans le chapitre suivant.

Entretien des composants informatiques

Reportez-vous à la documentation du fabricant pour la maintenance des composants, y compris l'ordinateur, le moniteur couleur, la souris, le clavier et l'imprimante (si installé).

Les composants à entretenir comprennent l'ordinateur, le moniteur couleur, la souris, le clavier et l'imprimante (le cas échéant).

Si vous rencontrez des problèmes et ne parvenez pas à localiser le problème, contactez Zygo.

Entretien et nettoyage de l'optique

Entretien de l'optique

Lorsque l'interféromètre n'est pas utilisé pendant une longue période après avoir terminé une mesure, retirez soigneusement la lentille et les autres optiques et stockez-les dans un étui à lentille spécial.

Stockez-les dans l'étui spécial de la lentille.

Optique de nettoyage

Le nettoyage de toute optique de précision peut endommager la surface. Toutes les surfaces de lentilles nettoyables sont enduites.

Toutes les surfaces de lentilles nettoyables sont enduites. Un nettoyage inutile et incorrect peut facilement endommager le revêtement. Nous devons tenir nos optiques correctement et les garder à distance lorsqu'ils ne sont pas utilisés.

Composants correctement, les retourner à leurs étuis en plastique lorsqu'ils ne sont pas utilisés, et maintenir un environnement propre pour minimiser le nombre de cycles de nettoyage.

Le nombre de nettoyages doit être minimisé.

Ne tentez pas de nettoyer l'optique à l'intérieur de la principaleUnité car cela affectera les performances du système. Contactez Zygo si nécessaire.

Contactez Zygo si nécessaire.

Matériaux de nettoyage recommandés

Gants de laboratoire en polyéthylène

Portez des gants pour éviter la contamination des surfaces de l'appareil et pour protéger votre peau du contact avec des substances chimiques nocives et irritantes.

Substances.

Gaz comprimé avec buse

Le gaz comprimé avec une buse est utilisé pour éliminer la poussière et la saleté de la surface de l'optique.

Papier miroir

Utilisé pour nettoyer la surface de l'optique si nécessaire. Le papier miroir doit être spécialisé pour essuyer les optiques de précision.

Étampons en coton

Utilisés pour nettoyer les surfaces difficiles à atteindre, les cotons-tiges doivent être faits de bois et de papier, de coton et d'autres matériaux. Les tiges en plastique se dissolvent dans l'acétone

Les tiges en plastique se dissoudront dans l'acétone.

Solvants

Utilisez de l'alcool isopropylique et du méthanol de qualité spectrale pour nettoyer les contaminants adhérant aux surfaces optiques. Utilisez une solution de savon 1% neutre ou un nettoyant optique.

Solution de savon à concentration ou nettoyant optique pour nettoyer les contaminants à base d'huile.

Procédures de nettoyage recommandées

Avertissement!

Des précautions doivent être prises lors de l'utilisation de l'éthanol isopropylique et de méthanol; ils sont inflammables et toxiques. Ne réutilisez pas les lingettes nettoyantes; la réutilisation peut faire adhérer la saleté et endommager les optiques.

Avant de nettoyer l'optique, retirez les bijoux tels que les bagues des doigts et des poignets, lavez-vous soigneusement les mains pour éliminer les huiles pour la peau et portez des gants.

Procédure de nettoyage de contamination

Poussière ou contamination fine

1. Soufflez de petits morceaux de poussière ou de contamination avec la buse.

2. Si la poussière est toujours présente, enroulez deux feuilles de papier miroir autour d'un écouvillon en bois ou pliez une feuille de papier miroir de manière à ce qu'elle soit juste plus large que la pièce à nettoyer.

3. Placez une goutte d'éthanol ou de méthanol sur le papier.

4. essuyez la lentille avec elle une fois dans une direction. Si plus d'essuyage est nécessaire, utilisez un nouvel écouvillon en bois et du papier miroir. Empreintes digitales, huile et marques d'eau REMARQUE: Cette condition doit être nettoyée immédiatement de la surface. Les acides sur la peau peuvent endommager la surface de la lentille.

5. Soufflez toute petite poussière ou saleté avec une buse de pulvérisation.

6. Si la saleté est toujours présente, enroulez deux feuilles de papier miroir autour d'un bâton en bois ou pliez une feuille de papier miroir de sorte qu'elle soit juste plus large que la partie à nettoyer.

7. appliquer une goutte de 1% solution de savon sur le papier.

8. essuyez la lentille une fois dans une direction. Si plus d'essuyage est nécessaire, utilisez un nouvel écouvillon et du papier.

9. Répétez les étapes 2 à 4 en utilisant le papier humidifié avec de l'eau distillée. Afin d'essuyer tout résidu de savon.

10. Humidifiez le papier avec du méthanol ou de l'éthanol et répétez les étapes 2 à 4.